Hochvakuumrohr

Ein Hochvakuumsystem wird in verschiedenen wissenschaftlichen, industriellen und technologischen Anwendungen eingesetzt, bei denen ein extrem niedriger Druck benötigt wird. Hochvakuum bezieht sich auf Drücke, die weit unter dem atmosphärischen Druck liegen, normalerweise im Bereich von 10^-6 bis 10^-9 Pascal.

Hier sind einige Anwendungen für Hochvakuumsysteme:

1. Elektronikindustrie: Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltkreisen ist ein Hochvakuum oft notwendig, um Verunreinigungen zu vermeiden und präzise Schichtabscheidungen durchzuführen.
2. Vakuummetallurgie: Bei der Herstellung von Metallen und Legierungen werden Hochvakuumsysteme verwendet, um bestimmte Prozesse wie die Vakuuminduktionsschmelze durchzuführen.
3. Halbleiterfertigung: In der Halbleiterindustrie werden Hochvakuumsysteme für Prozesse wie die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) eingesetzt, um dünnste Schichten auf Halbleitermaterialien abzulegen.

Die Verwendung von Hochvakuumtechnologie ermöglicht präzise Kontrolle über die Prozesse, die in diesen Anwendungen stattfinden, und hilft, unerwünschte Wechselwirkungen mit Gasmolekülen zu minimieren.